公开/公告号CN101672564B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-02
原文格式PDF
申请/专利权人 上海启元科技发展有限公司;上海启元空分技术发展有限公司;
申请/专利号CN200910056396.0
申请日2009-08-13
分类号
代理机构上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人赵志远
地址 201203 上海市张江高科技园区达尔文路88号1幢402室
入库时间 2022-08-23 09:09:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-18
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):F25J 3/08 变更前: 变更后: 变更前: 变更后: 申请日:20090813
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-05-02
授权
授权
2010-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):F25J 3/08 申请日:20090813
实质审查的生效
2010-03-17
公开
公开
机译: 氙气和氪氪收集装置,用于在半导体制造工艺中使用用于氙的滤波器单元,用于在半导体制造过程中使用的氙和氪收集装置
机译: 从空气分离单元中回收不可凝聚气体的系统和方法,例如氖,氦,氙和氪气
机译: 从原始RY浓缩物中制备纯氙的方法