多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置

摘要

本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置。该方法首先利用差动共焦系统对多焦全息透镜的长焦距值进行校准，减小测量的系统误差，然后利用差动共焦定焦原理对被测件的猫眼位置和共焦位置实现非接触高精度定位，继而利用几何光学原理可以实现超大曲率半径的高精度测量。该装置包括点光源、第一分光镜、准直物镜、多焦全息透镜、差动共焦系统、调整架、测长系统和移动导轨。本发明首次将差动共焦高精度定焦原理与多焦全息透镜压缩光路原理相融合，具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点，可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。