直线性测量方法及直线性测量装置

摘要

本发明提供一种直线性测量方法，该直线性测量方法不必高精度地进行3个位移计的零点调整即可计算测量对象物的表面轮廓。使排列在第1方向、相对位置被固定的3个位移计和测量对象物的一方(活动物)，相对于另一方(固定物)一边在第1方向移动，一边测量从3个位移计到分别在测量对象物的表面沿着在第1方向延伸的测量对象线排列的3个被测量点的距离。基于3个位移计的测量结果，计算对活动物的相对位置被固定的基准点的轨迹即仿形曲线的轮廓。将仿形曲线的计算出的轮廓的2次成分，基于事先测量出的仿形曲线的轮廓的2次成分进行校正。基于被校正的仿形曲线的轮廓计算测量对象物的表面的轮廓。