公开/公告号CN1991586B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN200610063645.5
申请日2006-12-29
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰费尔德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:08:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-21
授权
授权
2009-02-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-07-04
公开
公开
机译: 计量标记表征装置及光学计量系统
机译: 光学计量系统及计量标记表征装置
机译: 光学计量系统和计量标记表征装置