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光或放射线检测器的制造方法及光或放射线检测器

摘要

本发明提供一种光或放射线检测器的制造方法及光或放射线检测器,在形成半导体时,在模仿基板上通过蒸镀形成了规定厚度的半导体后,从该模仿基板替换成支承基板即石墨基板,并在该石墨基板上通过蒸镀继续形成半导体。在模仿基板上通过蒸镀形成规定厚度的半导体时是初期状态,因此,原本应形成的不良膜则形成于模仿基板。之后,在所替换的石墨基板G上形成非初期状态的半导体,因此,能够实现具备比现有的更高品质的半导体的检测器。另外,这样制造的半导体至少能够沿其厚度方向连续地形成。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-12-07

    授权

    授权

  • 2009-10-21

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-08-26

    公开

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