能够将有机化合物沉积在衬底上的装置

摘要

提供用于制造具有多个功能区的有机化合物层的一种沉积装置。该沉积装置包括沉积室内的多个蒸发源，能连续形成包括有机化合物的相应的功能区，并且，进一步在功能区的相邻区之间的界面形成混合区.用具有这种制造室的沉积装置，可以防止功能区之间的杂质污染，并且进一步可以在界面形成缩短能隙的有机化合物层。