用于对真空系统进行差动泵浦的真空分隔器

摘要

本发明涉及用于真空系统的差动泵浦的真空分隔器。真空分隔器布置在涡轮分子泵的转子叶片与由多个真空腔形成的真空歧管之间。第一连接孔穿过所述真空分隔器并允许气体从所述多个真空腔的第一真空腔到达所述涡轮分子泵。第二连接孔穿过所述真空分隔器并允许气体从所述多个真空腔的第二真空腔到达所述涡轮分子泵。