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聚对苯撑苯并双恶唑纤维表面处理方法

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本发明提供PBO表面处理方法，以降低表面经由金属溅射的PBO中的漏电流，提高集成电路性能。该方法包括步骤使用氩离子刻蚀金属溅射过的PBO表面。

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公开/公告号CN101770947B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-10-05

原文格式PDF
申请/专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
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申请/专利号CN200810204962.3
发明设计人何智清;王重阳;章国伟;梅娜;佟大明;
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申请日2008-12-30
分类号H01L21/311(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:07:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-10-05

授权

授权
2010-09-08

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20081230

实质审查的生效
2010-07-07

公开

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1. 聚对苯撑苯并双恶唑纤维表面处理方法 [P] . 中国专利： CN101770947B . 2011.10.05
2. 一种聚对苯撑苯并双噁唑纤维表面改性的方法 [P] . 中国专利： CN100392174C . 2008.06.04
3. polyhydroxamide, obtainable therefrom by cyclization, polybenzoxazoles, a method for producing the polyhydroxamide and polybenzoxazoles coating material for electronic components electronic components with a layer of the polybenzoxazoles, process for coating of substrates with the poly with identical use of polybenzoxazoles as insulating - and / or protective layer and a composition comprising the poly hydr oxamide [P] . 德国专利： DE10115882A1 . 2002-12-05

机译：聚苯并恶唑，可通过环化获得，聚苯并恶唑，一种用于生产电子部件的电子部件的聚苯二甲酰胺和聚苯并恶唑涂层材料的方法，该材料具有一层聚苯并恶唑，用相同的方法将聚苯并恶唑用作绝缘材料，用聚酰亚胺涂覆基材-和/或保护层和包含多元草酰胺的组合物
4. polyhydroxamide, obtainable therefrom by cyclization, polybenzoxazoles, a method for producing the polyhydroxamide and polybenzoxazoles, coating material for electronic components, electronic components with a layer of the polybenzoxazoles, a method for the coating of substrates with the poly with identical, the use of polybenzoxazoles as insulating - and / or protective layer and a composition comprising the poly hydr oxamide [P] . 德国专利： DE10115882B4 . 2006-08-24

机译：通过环化可得的聚异羟酰胺，聚苯并恶唑，聚异羟酰胺和聚苯并恶唑的制备方法，电子元件用涂料，具有聚苯并恶唑层的电子元件，用相同的聚合物涂覆基材的方法，聚苯并恶唑的用途作为绝缘层和/或保护层，以及包含多元草酰胺的组合物
5. Methodof treating filaments of poly(p-phenylene-trans- benzobisthiazole) or poly(p-phenylene-cis-benzobisoxazole) [P] . 美国专利： US4581437A . 1986-04-08

机译：聚（对亚苯基-反-苯并双噻唑）或聚（对亚苯基-顺-苯并双恶唑）长丝的处理方法