磁增强电容性等离子体源及产生等离子体的方法

摘要

用于iPVD的电容性等离子体源(22)浸没在强的局部磁场(31)中，并可以用于装入即可式替换iPVD的电感耦合等离子体(ICP)源。该源包括环形电极(23)，环形电极(23)具有位于其后面的磁体组(30)，磁体组(30)包括与电极表面大致平行的表面磁体(33-35)，其中，磁场在电极表面上径向延伸。诸如内侧和外侧环形圈磁体(分别是36和32)之类的侧面磁体具有极轴，极轴与电极相交，最靠近电极的磁极与表面磁体的邻近磁极具有相同极性。铁磁背板(37)或背部磁体(37a)使侧面磁体(32、36)的背部磁极互相连接。位于磁体组(30)后面的铁磁防护罩(37b)限制磁场(31)离开iPVD材料源(21)。