公开/公告号CN101566786B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200810036586.1
发明设计人 陈建山;
申请日2008-04-24
分类号G03F1/00(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:07:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F1/00 授权公告日:20110907 终止日期:20190424 申请日:20080424
专利权的终止
2011-09-07
授权
授权
2011-09-07
授权
授权
2009-12-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-28
公开
公开
2009-10-28
公开
公开
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