稠合多环芳香族化合物薄膜及稠合多环芳香族化合物薄膜的制造方法

摘要

本发明提供具有高移动度的有机半导体薄膜及其制造方法，以及用于该有机半导体薄膜通过湿法工艺制造的材料及其制造方法。另外，提供电子特性优良的有机半导体元件。把高纯度戊省与1，2，4-三氯苯的混合物加热，配制均匀溶液。把形成了作为源·漏电极的金电极图案的硅基板加热至100℃，在其表面展开戊省溶液。通过使1，2，4-三氯苯蒸发，形成戊省薄膜，制成晶体管。