1064纳米波段的亚波长熔融石英透射偏振分束光栅

摘要

一种用于1064纳米波段的熔融石英透射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期为604纳米-624纳米、槽深为1.32微米-1.42微米，光栅的占空比为0.5。该偏振分束光栅只存在-1级和0级衍射，在自准直角设置下，可以将TE偏振和TM偏振入射光分别衍射到-1级与0级透射光束中，透射衍射率分别高于84％和96％，消光比大于20dB。本发明的亚波长熔融石英透射偏振分束光栅由微细加工法加工而成，可大批量、低成本生产，制作的光栅偏振分束特性好，性能稳定可靠。