非致冷式红外微测热辐射计

摘要

本发明提供了一种非致冷式红外微测热辐射计，包括衬底基片、片状桥面和设置在桥面相对侧的两只L形桥臂。桥臂的一边端部与桥面电连接在一起，另一边端部通过电连接柱连接在基片上，在桥面与衬底基片之间形成真空间隙层。衬底基片上表面设有反射层。桥面从下至上依次包括吸收层、热敏层和钝化层；桥臂从下至上依次包括热阻层和电导层。其中桥面的吸收层和钝化层的厚度均为2800-3200本发明中，桥面的吸收层和钝化层的厚度均为2800-3200二者的厚度比较接近，故吸收层产生的压应力与钝化层产生的张应力更容易实现平衡，从而使桥面的结构非常稳定，既不会翘曲变形，也不会断裂或脱膜；故大幅度降低了本发明的工艺难度。