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面形状形成方法及其装置,磁头飞行面形成方法及其装置

摘要

本发明提供的面形状形成装置包括:对蚀刻对象(1)的规定表面形成规定形状的保护层形成装置、以及对形成有保护层的蚀刻对象(1)的规定表面进行蚀刻处理的蚀刻装置,其中,保护层形成装置包括:在蚀刻对象的规定表面上附着保护层材料的保护层附着装置,以及对该被附着的保护层材料照射根据控制器指令移动的激光束以去除一部分保护层材料从而修整成规定形状的激光照射装置(2)。本发明的面形状形成装置可短时间、低成本的形成蚀刻对象的面形状,并实现该形成的面形状的高精度化。

著录项

  • 公开/公告号CN1822109B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-05-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 新科实业有限公司;

    申请/专利号CN200610005991.8

  • 发明设计人 伊藤善映;中田刚;上田国博;

    申请日2006-01-16

  • 分类号G11B5/60(20060101);G11B5/127(20060101);

  • 代理机构44202 广州三环专利代理有限公司;

  • 代理人郝传鑫

  • 地址 中国香港新界沙田香港科学园科技大道东六号新科中心

  • 入库时间 2022-08-23 09:06:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 5/60 授权公告日:20110511 终止日期:20160116 申请日:20060116

    专利权的终止

  • 2011-05-11

    授权

    授权

  • 2008-03-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-08-23

    公开

    公开

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