作为用于CVD前体的低杂质有机硅产品

摘要

本发明提供一种有机硅组合物，其包含二乙氧基甲基硅烷，一定浓度的溶解的残留氯化物，和一定浓度的溶解的残留氯化物清除剂，当将其与另一种含有二乙氧基甲基硅烷组合物混合时，不产生不需要的氯化物盐沉淀。