用于高精度机器视觉测量的测量被遮蔽特征的方法

摘要

一种在机器视觉测量中测量被遮蔽特征的方法。所述方法允许对被无关对象(例如平板显示屏掩模的覆盖栅格)部分遮蔽的高精度测量。该方法首先粗略定位待测特征的边缘点。在一个实施例中，通过使用形态滤波器删除无关对象(例如遮蔽栅格)，然后在滤波后的图像上进行边缘检测，粗略边缘定位操作被执行。一旦粗略边缘位置被确定，则该方法回到原始的未经改变的图像，并且对于每个粗略定位的边缘点，在原始的未经改变的图像中的该点的近邻中进行边缘检查。然后这些细化后的边缘点位置被用于拟合高度精密的测量特征。