紧凑的三波横切型消色差光学干涉仪

摘要

一种分析光束波阵面的方法与系统，其中衍射光栅(GR)安置在垂直于待分析光束且光学共轭于分析平面的平面内。光栅不同的呈现光束相干涉而生成图像，该图像具有与等待分析波阵面的梯度相关的变形。本方法的特征在于，光栅(GR)执行强度函数与相位函数的相乘；强度函数由带六边形表面S网格的二维光栅(GI)实现，六边形表面S网格将待分析束的光透射成多条排列在六边形网格中的呈现光束；相位函数由带六边形表面3S网格的二维实现，六边形表面3S网格在两条相邻次级光束之间引起接近2π/3(模2π)的相移。