载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置

摘要

本发明提供一种载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置。在根据本发明的载荷测定方法中，使用接收载荷时弹性变形的挠曲梁(14)和平面间隙构造体(13)，平面间隙构造体的间隙量随挠曲梁的变形而变化。气体馈送至由平面间隙构造体形成的间隙(g)且流经该间隙的气体的流量被转换成载荷以测定载荷。载荷传感器(1)包括平板状上表面构件(11)、平板状下表面构件(12)、夹持于上表面构件与下表面构件之间的挠曲梁、和平面间隙构造体，平面间隙构造体与上表面构件形成间隙且具有喷射口(13b)，喷射口向间隙馈送气体。由设置于气体流路中的气体流量计(2)测定馈送到间隙的气体流量，由处理单元(4)将其转换成载荷。