16000A/200～400V电焊机专用雪崩整流二极管及其制造方法

摘要

一种16000A/200～400V电焊机专用雪崩整流二极管及其制造方法，解决了单只电焊机专用整流二极管容量小、器件使用中需要并联均流的矛盾。采用电阻率ρn为5～10Ω-cm、直径为70mm、厚度0.17～0.19mm的N型(100)径向单晶硅片；在1250℃下进行双面一次扩散；扩散区表面浓区表面浓度0.06～nA，结深XjP为58～62μm，基区残余少子寿命τp为9～13μS；阴、阳极钛-镍-金欧姆接触；阴极台面喷砂造型、腐蚀、清洗、钝化保护，中间测试；装壳，管子厚度5～6mm，氮气保护下冷压焊封装，封装后管子厚度5～6mm。其电流扩展能力更强、容量更大、质量更好、可靠性更高，使用成本更低。