公开/公告号CN1068709C
专利类型发明授权
公开/公告日2001-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN97106366.4
申请日1997-04-08
分类号H01L21/027;G03F1/16;
代理机构上海华东专利事务所;
代理人李兰英
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 08:55:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-06-08
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-07-18
授权
授权
1998-10-14
公开
公开
1998-06-03
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 粗针孔阵列,用于记录改进的冗余全息图
机译: 粗针孔阵列,用于记录改进的冗余全息图
机译: 粗针孔阵列,用于记录改进的冗余全息图