一种连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管的方法

摘要

连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管，其特征在于，将掺杂有碳化硅与/或氮化硅的石英原料投入连熔炉坞坩埚内，经通电熔融的石英料液在钨坩埚内经过高温热沉淀，排出气体杂质和液体杂质后，料液流经成型器料台进行成型；在成型石英管的下料口处，通过喷涂设备在成型石英管的外表面高温热喷涂碳化硅与/或氮化硅粉体形成涂层，再经过变频控制的牵引机向下拉制成型，得到超大口径抗高温变形石英玻璃管。本发明可以一步法成型超大口径抗高温变形石英玻璃管，所生产的石英玻璃管可抗高温1500-1650℃，变形率＜3％，可应用于8″和12″大规模集成电路硅片高温扩散材料上，可以二次重复使用。