闸阀装置、真空处理装置和闸阀装置中的阀体的开放方法

摘要

本发明提供一种闸阀装置，能够不产生粒子以及不使机构部寿命降低，且能够将动作时间控制在目标时间内。设置在真空处理室(10)的侧壁，并且用于开闭玻璃基板G的搬入搬出用的搬入搬出口的闸阀装置(30)，具有：开闭搬入搬出口(10a)的阀体(33)，驱动阀体(33)的气缸(36)，和根据阀体(33)的位置以使阀体(33)的移动速度不同的方式控制阀体(33)的驱动的空气驱动电路(60)。