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电光器件基片、电光器件、电子器件和投影显示设备

摘要

一种电光器件基片、电光器件、电子器件和投影显示设备,用于实现均匀的抛光速度,而不使夹层绝缘膜变厚的结构,该半导体基片上带有用于像素选择的晶体管区。液晶板基片带有隔离膜(12),第二夹层绝缘膜(11),导线膜(10),像素电极,和连接插头(15)。下部模型图形A和上部模型图形B在非像素区中的输入接线端焊盘(26)的周边上形成。由于在模型图形A和B上形成的第三夹层绝缘膜(13)的表面高度升高,防止了在该位置处的过度抛光。结果在CMP处理中实现均匀的抛光速度。

著录项

  • 公开/公告号CN101477991B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-12-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN200810190325.5

  • 发明设计人 平林幸哉;

    申请日1998-06-16

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人刘宗杰

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-13

    专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 27/12 授权公告日:20101222 申请日:19980616

    专利权的终止

  • 2010-12-22

    授权

    授权

  • 2010-12-22

    授权

    授权

  • 2009-09-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-09-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-08

    公开

    公开

  • 2009-07-08

    公开

    公开

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