利用相容化学品的基板刷子擦洗和接近清洗干燥程序、接近基板制备程序和实施前述程序的方法、设备和系统

摘要

一种用于清洗和干燥基板的正面和背面的方法。该方法包括使用擦洗流体化学品擦洗基板的背面。该方法还包括一旦完成背面的擦洗之后，就在基板的正面上施加正面弯液面。该正面弯液面含有正面清洗化学品，而正面清洗化学品与该擦洗液体化学品呈化学性相容。还提供了一种基板的表面的制备方法，该方法包括使用弯液面扫掠基板的表面，使用弯液面制备基板的表面和在未进行冲洗操作的情况下，在已制备的基板的表面上进行下一个制备操作。