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一种汞灯灯室的光学特性测试装置及其测试方法

摘要

本发明提供一种汞灯灯室的光学特性测试装置及其测试方法,属于光学测量领域。汞灯灯室的光学特性测试装置包括:外壳,依次顺序置于外壳里面的小孔光阑、第一聚光镜、第一衰减片、第二聚光镜和四象限探测器,以及定位于外壳中的刀片和准直激光器。本发明所提供测试装置与常规定位装置的结合使用,可以实现对汞灯灯室焦距、焦点功率、焦点光强分布三个光学特性参数测试。

著录项

  • 公开/公告号CN101576436B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-12-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN200810202281.3

  • 发明设计人 张品翔;胡斌;黄玲;

    申请日2008-11-05

  • 分类号G01M11/02(20060101);G01J1/00(20060101);

  • 代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;

  • 代理人王洁

  • 地址 201203 上海市张江张东路1525号

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-19

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01M 11/02 变更前: 变更后: 申请日:20081105

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-12-08

    授权

    授权

  • 2010-12-08

    授权

    授权

  • 2010-01-06

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2010-01-06

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-11-11

    公开

    公开

  • 2009-11-11

    公开

    公开

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