有机无机复合回音壁模式光学微腔激光器的制备方法

摘要

本发明属于集成光学器件制备技术领域，具体为一种有机无机复合回音壁模式光学微腔激光器的制备方法。本发明包括采用溶胶-凝胶法分别配制折射率较低的和较高的有机无机复合材料溶液，然后分别用旋涂甩膜法制备衬底层和有源层，再用紫外光刻法将掩模板上的微腔图形转移到有源层上，刻蚀出微腔，最后制备覆盖层。本发明适合用于制备多功能、高性能的集成光学传感芯片。本方法工艺简单，成本低，制备的有机无机复合回音壁模式光学微腔激光器达到有机类微腔的最好水平。