一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪

摘要

一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，属于光学检测技术领域中的检测设备。要解决的技术问题：提供一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，技术方案：包括激光光源、起偏器、多光束分光器、光阑、偏振分光镜、1/4波片、五棱镜、待测筒状非球面镜、傅里叶变换透镜、CCD相机等。在激光光源的光轴上，依次放置起偏器、直角棱镜、多光束分光器、光阑、半波片、偏振分光镜、第二1/4波片、参考平面镜；偏振分光镜的分光面与光轴45度，右边依次放置傅里叶透镜、CCD相机；左边光路上依次放置第一1/4波片、第一、二五棱镜，第二五棱镜的出射面正对待测筒状非球面镜的内表面；待测筒状非球面镜放置在旋转平台上。