公开/公告号CN101115969B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-08
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200680004509.7
申请日2006-02-06
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人王怡
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:05:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/02 授权公告日:20101208 终止日期:20170206 申请日:20060206
专利权的终止
2010-12-08
授权
授权
2010-12-08
授权
授权
2008-04-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-01-30
公开
公开
2008-01-30
公开
公开
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机译: 利用光学脉冲在半导体晶片上形成的结构的光学计量学
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