公开/公告号CN101300373B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 赛德尔参与公司;
申请/专利号CN200680040477.6
发明设计人 让-米歇尔·里于斯;局伊·弗约莱;
申请日2006-10-26
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人徐雁漪
地址 法国奥克特维尔
入库时间 2022-08-23 09:05:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-10-13
授权
授权
2008-12-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-11-05
公开
公开
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机译: 用于等离子体处理装置的石英构件的处理方法,用于等离子体处理装置的石英构件以及在其上安装有用于等离子体处理装置的石英构件的等离子体处理装置
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