用于干涉测量检验物的光学性能的方法以及用于实施该方法的适当装置

摘要

本发明涉及一种用于大透镜(Grossoptik)的干涉测量的方法。推荐一种由作为“拼接技术”而公知的方法与浸渍法的组合。在拼接技术方法中，确定和软件控制地组合在测量范围的子平面上的子干涉图，因而有可能使用较小的、成本低廉的干涉仪，但是以检验物抛光的表面为前提。在浸渍法中，虽然对检验物表面质量的要求较低，但同时有引起干扰的边缘误差出现。为了使这种组合成为可能，开发了一种拼接技术的改型，在该改型中将测量范围(CA)完全用由一种浸渍液体构成的膜覆盖。一种适宜于实施该方法的装置，以紧靠在检验物主平面上的由透明材料构成的定位体而出众，这些定位体完全覆盖测量范围(CA)，其中在定位体与检验物主平面之间形成由一种浸渍液体构成的膜。