一种生物医用NiTi合金表面制备类金刚石涂层的方法

摘要

本发明公开了一种生物医用NiTi合金表面制备类金刚石涂层的方法，该方法包括下列步骤：将预处理好的基体放入电弧增强磁控溅射离子镀膜设备的转架杆上面，采用平面对靶的方式将平面C靶安置在炉体内壁上；通入氩气到真空室，对真空室和预处理好的基体进行清洗；清洗完成后，在基体表面镀Ti基层，完成后制备TiC过渡层；然后在基体表面的TiC过渡层上制备得到类金刚石涂层。该方法制备的类金刚石涂层，硬度达25-30GPa，膜基结合力达到48-60N，抗腐蚀性明显优于NiTi合金，可显著改善生物医用NiTi合金的力学和生物学性能。