一种测量扫描探针显微镜导电针尖的特征电容的方法

摘要

本发明涉及一种测量扫描探针显微镜导电针尖的特征电容的方法，包括如下步骤：1)对样品施加直流偏压，测定针尖振动的相位角差值Δφ随针尖偏压的变化关系；2)然后对相位随针尖一样品电压变化的曲线进行线性拟合，得出直线斜率；3)最后，对一系列针尖-样品间距下，测得的直线斜率与距离作图，得到C′与距离h之间的关系；4)再积分得到特征电容C与h的关系。本发明的测量方法避免了对C″进行两次积分的计算过程，使得测量过程更加简便，并且测量所得针尖电容与间距的关系更加明确。对于样品的表面电荷分布、偶极子分布等的测量以及和电容相关的电子学参量的定量、半定量化测量具有非常重要的意义。