空心光束泵浦垂直外腔面发射半导体激光器

摘要

本发明提供了空心光束泵浦垂直外腔面发射半导体激光器，其包括半导体激光器(1)、传输光纤(2)、准直透镜(3)、卡塞格林望远系统(4)、耦合透镜(5)、分光棱镜(6)、外腔面发射外延片(7)、铜热沉(8)和输出镜(9)组成。采用空心光束作为泵浦光，利用其具有暗斑尺寸可调、无加热效应和传播不变性等特点，使泵浦区与激射区中心相分离来降低外腔面发射外延片激射区的热效应和微应变，提高光光转换效率和输出功率，改善输出光束质量和输出光谱稳定度。在抽运功率为2W时，比普通高斯光束作为泵浦源转换效率提高11％，输出圆对称近衍射极限光束，光束质量M