感应等离子体电容器级纳米钽粉制备用原料粉体的前期处理工艺

摘要

一种感应等离子体电容器级纳米钽粉制备用原料粉体的前期处理工艺，该工艺包括下列步骤：a、采用钠热还原制备的、粒度在2～10μm的钽粉作为原料；b、将原料钽粉通过感应等离子粉体合成系统进行球化处理，球化处理采用的工艺参数：中间气体流量30标准升/分钟，鞘层气体流量80～120标准升/分钟氩气+0～10标准升/分钟氢气，反应室压力50～120Kpa，等离子体功率30～60KW，送粉率2～15kg/小时，冷却气体流量300～800标准升/分钟，送粉器的相对位置等离子区的中部，送粉气体流量8～20标准升/分钟；c、筛分处理：用160～220目筛网在筛分机上进行振动筛分；d、气流分级处理：在旋风分离器上进行分级处理，分级处理采用的工艺参数：送粉率2～5kg/小时，分级气体流量300～600标准升/分钟。本发明能进行连续地电容器级纳米和亚微米钽粉制备，通过球化、筛分和分级处理，使原料呈球形，粉体粒度控制在2～5μm粉体占整个粉体的90％以上，改善粒度分布状态，克服团聚现象，同时提高钽粉收集率、能源、材料利用率和电性能。