光或辐射检测单元制造方法及通过该方法制造的检测单元

摘要

通过气相沉积或印刷来形成包括载流子收集电极、电容器、薄膜晶体管、数据线和栅极线的读出图样的至少一部分。与半导体厚膜相分离地形成读出图样。半导体厚膜和读出图样构成平板X射线检测器(FPD)，被安装在盒中以形成一个单元。通过使用半导体厚膜代替传统的玻璃衬底，实现了重量减轻。按照这种方式制造的FPD在运输和使用期间不受较大的限制。