在等离子体处理系统中处理不同宽度基片的可调电极组件

摘要

一种用于等离子体处理系统的电极组件，包括可移除的导轨，该导轨可被调节以重新配置电极从而适应不同宽度的基片。该电极组件包括具有多个第一连接部件的电极。配合用于在电极上支撑基片的多个导轨与该电极相关联。导轨的每一个包括多个第二连接部件。第二连接部件的每一个可拆卸地连接于第一连接部件的一个以可移除地安装导轨和电极。