在偏振分束器以及使用该偏振分束器的系统中的应力双折射补偿的装置和方法

摘要

本发明涉及投影系统，所述投影系统使用偏振分束器以将光耦合到成像装置和从成像装置耦合出。所述偏振分束器通常由设置在玻璃盖之间的反射式偏振层形成。位于所述反射式偏振层和所述成像装置之间的玻璃盖中的应力双折射会降低所述投影系统的图像对比度。使用设置在所述玻璃盖和所述成像装置之间的四分之一波延迟元件至少部分地补偿所述双折射。这允许所述偏振分束器使用由具有比以前更高的应力光学系数的玻璃材料形成的所述玻璃盖，而同时仍保持高图像对比度。