一种基于改进网络的芯片表面缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种基于改进网络的芯片表面缺陷检测方法，改善了现有技术中，芯片表面缺陷检测效率和准确度仍须提高的问题。该发明含有如下具体步骤：步骤S1，对图像采集和预处理；步骤S2，对缺陷区域图像的掩膜处理；步骤S3，对掩膜区域的图像修复；步骤S4，对图像的差分处理；步骤S5，对图像的二值化处理和图像滤波；步骤S6，获取感兴趣缺陷区域；步骤S7，对感兴趣缺陷区域裁剪。本发明能够将芯片表面缺陷检测出来并进行分类与定位，为之后改善芯片的生产工序提供了便利。克服了传统人工检测以及基于人工特征提取方法的缺点，效率高、准确度好。