用于地震仪或其它装置中的微机械悬浮板

摘要

本发明公开了一种用于地震仪或其它装置中的微机械悬浮板。该地震仪或其它装置(例如加速计)使用平面内悬挂几何结构，该悬挂几何结构具有悬浮板以及至少一个固定电容板。悬浮板由单一件形成，并且包括外部框架、一对柔性件、以及位于柔性件之间的集成的检测质块。柔性件使得检测质块在悬挂平面内沿灵敏方向运动，同时限制沿所有离轴方向的运动。检测质块的离轴运动通过使用在柔性件内或其间支出的中间框架而最小化。中间框架可以包括运动止动件，以防止在过载情况下的进一步相对运动。设备可以包括阻尼结构，诸如弹簧或气体结构，其包括梯形活塞和对应的气缸，以在无源状态下提供阻尼。