公开/公告号CN100595599C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-03-24
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN200710062685.2
发明设计人 张俊;
申请日2007-01-12
分类号G01R31/02(20060101);G01R31/08(20060101);H01L21/00(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11260 北京凯特来知识产权代理有限公司;
代理人赵镇勇;郭宗胜
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼
入库时间 2022-08-23 09:04:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-14
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 31/02 变更前: 变更后: 申请日:20070112
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-03-24
授权
授权
2010-03-24
授权
授权
2008-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-16
公开
公开
2008-07-16
公开
公开
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