日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法

摘要

本申请提供一种日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法，属于日盲紫外探测技术领域。探测器包括：高阻非晶氧化镓层，其氧空位浓度和致密度可在1～2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积得到，厚度为15～30nm，具有相对的第一表面和第二表面；低阻非晶氧化镓层，其氧空位浓度和致密度可在不高于0.2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积得到，连接于第一表面；收集电极，具有分别与第二表面连接的第一电极和第二电极。探测方法包括：在20～100V的工作电压下，采用探测器对日盲紫外光进行探测。探测器作为两端结构可兼具高的响应度和低的暗电流，探测方法能够获得较大的光电流增益，实现高的比探测率。