用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法

摘要

本发明公开了一种用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法，其引导层状净化气流通过工件以去除除气或产生自处理期间的工件的污染物或物质。为了提供层状气流，泵衬里可采用环形，其具有诸如各种尺寸和/或形状的狭槽的多个注入狭槽以及相对的多个接收狭槽。为了防止污染物在室的组件上的聚集，净化气流足够载送来自处理室的污染物或除气物质。为了防止物质在衬里上的冷凝，泵衬里可通过来自辐射源的传导和辐射进行加热。为了增加衬里的发射率，泵衬里还可进行阳极化或其它处理。