一种检验刻蚀液是否有效的方法

摘要

本发明涉及一种检验刻蚀液是否有效的方法。现有检验方法因不去除测试晶圆表面的自然氧化层而直接用测试晶圆检验刻蚀液，致使测得的刻蚀速率无法准确反应刻蚀液的状况。本发明的方法先提供一测试晶圆，其中，该测试晶圆上具有一测试层，该测试层上具有一自然氧化层；接着去除该自然氧化层；之后测量该测试晶圆的厚度或方块电阻；然后将该测试晶圆浸没在刻蚀液中进行一预定刻蚀时间的刻蚀；之后测量该测试晶圆被刻蚀后的厚度或方块电阻；接着计算出该测试晶圆厚度或方块电阻的改变量，并依据该改变量计算出刻蚀速率；最后判断该刻蚀速率是否在容许范围内并依据判断结果判定刻蚀液是否有效。采用本发明的方法可有效检验出检验刻蚀液是否有效。