法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-12-09
授权
授权
2009-12-09
授权
授权
2005-09-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-08-17
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050708 申请日:20030805
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2005-08-17
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050708 申请日:20030805
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2005-08-17
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20050708 申请日:20030805
专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2004-03-24
公开
公开
2004-03-24
公开
公开
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机译: 使用第二次曝光来辅助PSM曝光以打印紧靠大特征的紧密空间
机译: 当打印较大特征旁边的狭窄空间时,使用第二次曝光来支持PSM曝光
机译: 使用第二次曝光来辅助PSM曝光以打印邻近大尺寸特征的狭窄空间