一种利用双条纹实现平移旋转绝对检测测平面的POWER的方法

摘要

本发明公开了一种利用双条纹实现平移旋转绝对检测测POWER的方法，属于光学检测领域。本发明通过在被测平面镜外沿生成一套监控条纹，用以监控旋转平移台运动过程中被测镜倾斜量的变化，并调整平移台实时消除该倾斜变化量。通过该方法，我们可以实现去除被测镜上每个平移旋转位置由外界因素造成的无用倾斜项，而仅保留被测面POWER引起的有用倾斜项的目的。最终，利用这些带有有用倾斜的面型数据，可以复原得到含POWER项像差的被测平面镜绝对面型。本发明方法简单，成本低，误差源少。