宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于介电应变效应的宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法，传感器按照从上至下顺序依次设置有传感器上电极、复合介质层和传感器下电极，在上下电极之上附着一层保护层，所述复合介质层由柔性基底材料掺杂纳米铁磁性材料组成，同时用磁铁对纳米铁磁性粒子的分布进行控制，使其在柔性基底内规则排布，因此，在压力的作用下，敏感层产生形变，纳米粒子的电偶极矩足够近并且趋于同向就可以在电偶极子之间产生较强的耦合作用，使传感器的电介质获得较高的介电系数，以此来提高传感器的灵敏度。