公开/公告号CN110378271B
专利类型发明专利
公开/公告日2023.01.03
原文格式PDF
申请/专利权人 易诚高科(大连)科技有限公司;
申请/专利号CN201910622166.X
申请日2019.09.05
分类号G06V40/20;G06V10/774;G06V10/778;G06V10/764;G06V10/30;G06T7/254;G06T7/215;G06T5/00;
代理机构大连优路智权专利代理事务所(普通合伙);
代理人宋春昕;刘国萃
地址 116000 辽宁省大连市高新园区广贤路135号智业广场B2座19层
入库时间 2023-01-12 18:57:00
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机译: 一种使用氧化物半导体薄膜的质量评估方法,所述氧化物半导体薄膜的质量控制方法和所述质量评估方法的半导体制造设备。
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