薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法

摘要

一种薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法，属于精密机械领域。该装置利用两个压电陶瓷8分别从两个方向推动可沿滑轨2移动的滑块4与可调滑块3，滑块4及可调滑块3与支架1之间通过限位弹簧9进行限位，滑块4及可调滑块3上固接有的力传感臂6，力传感臂6顶端接载物台，在测量时，首先将待测的薄膜试件夹在载物台上，然后对压电陶瓷8连续施加电压，使两个力传感臂6向相反方向发生微位移，同时通过图像实时采集系统和附在力传感臂6上的应变片5记录薄膜变形图像和力学参数。使用该装置和测量方法能够在测量过程中连续观察测量区，并可通过不同量程的力传感臂进行较宽范围的测量。