晶背扫描仪、晶背扫描方法和晶圆扫描方法

摘要

本发明提供了一种晶背扫描仪、晶背扫描方法和晶圆扫描方法，晶背扫描仪，包括：用于获取图像的光源扫描器和用于处理晶背图像的光导体；晶背扫描方法，包括：所述光源扫描器获取晶背图像传输给所述光导体；晶背图像转换成电荷数量分布；电荷数量以不同的灰阶度呈现；通过呈现的灰阶度是否异常判断晶背图像是否异常。在本发明提供的晶背扫描仪、晶背扫描方法和晶圆扫描方法中，增加了晶背扫描方法，在晶圆的晶面等待扫描的时候对晶圆的晶背和晶边进行扫描，在不增加工艺时间的同时，提高了晶圆的良率。