一种压电薄膜压电系数的高通量测量方法

摘要

本发明涉及一种压电薄膜压电系数的高通量测量方法，属于压电系数测量技术领域，该方法包括过程：制作包含有若干个层合悬臂梁的试件，其中每个层合悬臂梁上依次设置基底层、底部电极层、压电薄膜层以及顶部电极层；通过底部电极层和顶部电极层给压电薄膜层施加电压，同时通过数字全息系统采集每个层合悬臂梁的变形图像，获取每个悬臂梁的最大挠度；根据层合悬臂梁上基底层结构尺寸和材料参数、施加的电压值以及获得的最大挠度得到每个层合悬臂梁上压电薄膜的压电系数。该方法能够一次能够同时测得多个至上百余个压电薄膜压电系数，实现了薄膜材料压电系数的高通量测量，为压电薄膜高通量制备提供了快速有效的压电性能表征手段。